Mașina de subțiere a plachetelor cu carbură de siliciu este utilizată în principal pentru subțierea materialelor de substrat, cum ar fi napolitana de siliciu, arseniura de galiu, ceramica cu carbură de siliciu, ceramica cu zirconiu, grafit, tantalat de litiu și așa mai departe.
Mașinile de șlefuit verticale de înaltă precizie pot șlefui materiale semiconductoare de a treia generație, cum ar fi SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Seria DL-GSD este o mașină de șlefuit auto-produsă în China, iar performanța sa a atins standardul mondial.